Półprzewodnikowe pompy stosowane są w procesach PVD, RTA, SACVD, MCVD, PECVD, LPCVD oraz ALD. Pompy te dają całkowicie bezolejową próżnię. Ich główną zaletą są wyjątkowo niskie koszty posiadania – silniki 1 - 1,4 kW oraz długi średni czas pomiędzy awariami (około 13 lat).
Produkty
Wybierz
kategorię z listy
kategorię z listy
- Produkty Edwards Vacuum
- Pompy próżniowe olejowe (R&D i przemysł)
- Pompy próżniowe bezolejowe (R&D)
- Pompy próżniowe bezolejowe (przemysłowe)
- Pompy Turbomolekularne
- Pompy Dyfuzyjne
- Exhaust Management Systems
- Mechanical Boosters
- Pomiar i kontrola próżni
- Oleje i smary
- Zawory próżniowe
- Pompy próżniowe dla przemysłu półprzewodników
- Filtry do pomp
- Wyprzedaż
- Detektory nieszczelności
- pompy jonowe GAMMA Vacuum
- Komory próżniowe
- Części zamienne i zestawy naprawcze do pomp próżniowych
- Solberg filtry
- FINDER