Pompy dyfuzyjne charakteryzują się bardzo długa żywotnością - nawet kilkadziesiąt lat, bardzo łatwa obsługą i konserwacją. Na specjalne życzenie budowane są pompy o niestandardowych parametrach i właściwościach. Do właściwej pracy pompy te wymagają użycia pomp wytwarzających próżnię wstępną.
Pompy Diffstak stosowane są głównie w spektrometrach masowych, analizie gazów, napylaniu warstw oraz systemach UHV. Firma Edwards oferuje także pompy dyfuzyjne chłodzone powietrzem oraz gotowe zestawy pomp dyfuzyjnych z pompami wstępnymi, kontrolerami i zaworami.
Pompy HT, BB i BM stosowane są przede wszystkim w metalurgii próżniowej, destylacji, suszeniu, odgazowywaniu, metalizacji i napylaniu cienkich warstw.